9月24日，光刻機、光刻膠概念反復活躍，截至10:50，半導體材料ETF（562590）盤中走強，漲1.21%，持倉股華峰測控領漲，漲幅4.13%，富創精密、金宏氣體、盛美上海跟漲，漲超2%。

資金面上看，半導體材料ETF（562590）近5日四度吸金，累計吸金近500萬元，體現投資者信心。

華福證券認為，隨著國內半導體產業鏈上下游協同攻關，以及多方資本有力加持，國產光刻機及相關供應鏈有望順利揚帆，并為科技信息產業發展保駕護航。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357）緊密跟蹤中證半導體材料設備指數，指數中半導體設備（53.1%）、半導體材料（22.6%）占比靠前，合計權重超75%，充分聚焦指數主題。年初至今，半導體材料ETF最新份額達9166.30萬份，創近3個月新高。